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光栅式线性测微计工作原理及输出信号类型

发布时间: 2022-11-29  点击次数: 439次

        栅式线性测主要使用传动型光电线性编码器,如下图所示。

        在这个类型中,光源 (LED) 和检测器要 (发光二 管) 彼此相对,主尺和指示尺 (20µm 间距) 在它们之间。当光栅尺相对检测器移动时,透过指示尺窗口的光线亮度连续变化。同时,输出两个同步的正弦波信号形成 90 度相位差。这些信号被放大和分离 (使用插入的附加波形),并以0.1µm、0.5µm、1µm 和 5µm 的正弦波信号输出。

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        栅式线性测处理内部检测到的信号和输出正弦波信号如下图所示。

        这些 90 度相位差的正弦波操作信号相当于 RS-422A 信号,测头可以独立使用。但是,某些型号 (LGD 和 LGS) 不

能输出正弦波信号而是输出 Digimatic 代码(SPC),用以鉴定测量位置。


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