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FAGOR敞开式直线光栅尺
FAGOR敞开式直线光栅尺 FAGOR - 非接触开放型光栅尺 - IT 系列增量式用于直线运动系统的位置控制或位置测量,定位于半导体制造、测试和测量系统及印刷设备领域的应用,以及与线性电机的集成应用。

• 非接触开放型光栅尺 包含两个部件, 读数头和带栅格的测量钢带:
– 由于读数头和测量钢带之间无接触且没有任何密封部件,所以电机不需要额外的力矩就可以启动旋转。
– 在实际应用中,可能需要增加防护措施来达到应用所需要的防护等级。
– 相比集成式测量系统,模块式编码器使得安装更加方便快捷
• 参考标记集成于增量刻线轨道中,缩小钢带尺寸。可通过磁铁选择参考标记。
• 输出信号类型: 1 Vpp 正弦波信号 或 分辨率最高可达 25 nm 的 TTL 方波信号。
• 高精度和优异的重复性与数控系统一起可提供平稳可靠的控制。
• 蚀刻钢带三种不同安装方式,以适应各种工作条件:
– 自带背胶安装
– 导向加强板安装
– 导向加强板安装 两端张紧
• 厚度 0.3 mm 带背胶钢带进一步提高组装便利性(可裁剪至所需长度)
• 最高测量速度数据表
| 上位设备 时钟频率 (MHz) | 脉冲边沿 间隔时间 (ns) | 最高测量速度 (m/s) | |||||
| 分辨率 | |||||||
| 5μm | 1μm | 0.5μm | 0.1μm | 0.05μm | 0.025μm | ||
| 40 | 25 | 10 | 10 | 10 | 2.4 | 1.2 | 0.6 |
| 25 | 40 | 10 | 10 | 9 | 1.8 | 0.9 | 0.45 |
| 20 | 50 | 10 | 10 | 7.2 | 1.44 | 0.72 | 0.36 |
| 12 | 83 | 10 | 9 | 4.5 | 0.9 | 0.45 | 0.23 |
| 10 | 100 | 10 | 8 | 4 | 0.8 | 0.4 | 0.2 |
| 8 | 125 | 10 | 6.55 | 3.27 | 0.65 | 0.33 | 0.16 |
| 6 | 166 | 10 | 5.14 | 2.57 | 0.51 | 0.26 | 0.13 |
| 4 | 250 | 10 | 3.43 | 1.71 | 0.34 | 0.17 | 0.09 |
| 2 | 500 | 8.57 | 1.71 | 0.86 | 0.17 | 0.09 | 0.04 |
FAGOR敞开式直线光栅尺技术参数
FAGOR敞开式直线光栅尺订货参考

ITA - 背胶粘贴安装

FAGOR敞开式直线光栅尺产品尺寸

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