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FAGOR敞开式直线光栅尺

简要描述:FAGOR敞开式直线光栅尺 FAGOR - 非接触开放型光栅尺 - IT 系列增量式用于直线运动系统的位置控制或位置测量,定位于半导体制造、测试和测量系统及印刷设备领域的应用,以及与线性电机的集成应用。

  • 产品型号:ITRW40-3D
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-05-20
  • 访  问  量:9
详情介绍

FAGOR敞开式直线光栅尺

FAGOR敞开式直线光栅尺 FAGOR - 非接触开放型光栅尺 - IT 系列增量式用于直线运动系统的位置控制或位置测量,定位于半导体制造、测试和测量系统及印刷设备领域的应用,以及与线性电机的集成应用。

FAGOR敞开式直线光栅尺

• 非接触开放型光栅尺 包含两个部件, 读数头和带栅格的测量钢带: 

– 由于读数头和测量钢带之间无接触且没有任何密封部件,所以电机不需要额外的力矩就可以启动旋转。

 – 在实际应用中,可能需要增加防护措施来达到应用所需要的防护等级。

 – 相比集成式测量系统,模块式编码器使得安装更加方便快捷

• 参考标记集成于增量刻线轨道中,缩小钢带尺寸。可通过磁铁选择参考标记。 

• 输出信号类型: 1 Vpp 正弦波信号 或 分辨率最高可达 25 nm 的 TTL 方波信号。 

• 高精度和优异的重复性与数控系统一起可提供平稳可靠的控制。 

• 蚀刻钢带三种不同安装方式,以适应各种工作条件:

 – 自带背胶安装 

– 导向加强板安装

 – 导向加强板安装 两端张紧

 • 厚度 0.3 mm 带背胶钢带进一步提高组装便利性(可裁剪至所需长度)

• 最高测量速度数据表

上位设备 
时钟频率 
(MHz)
脉冲边沿 
间隔时间 
(ns)
最高测量速度 (m/s)
分辨率
5μm1μm0.5μm0.1μm0.05μm0.025μm
40251010102.41.20.6
2540101091.80.90.45
205010107.21.440.720.36
12831094.50.90.450.23
1010010840.80.40.2
8125106.553.270.650.330.16
6166105.142.570.510.260.13
4250103.431.710.340.170.09
25008.571.710.860.170.090.04















FAGOR敞开式直线光栅尺技术参数FAGOR敞开式直线光栅尺




FAGOR敞开式直线光栅尺订货参考

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ITA - 背胶粘贴安装

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